Le pôle permet aux utilisateurs de réaliser leurs solutions de circuits hybrides à couches minces ou épaisses, à l'aide d'un matériel dédié. Grâce à sa salle grise d'une surface de 75m², le CNFM dispose de conditions idéales à la réalisation de composants électroniques, dans un environnement stérilisé.
Les équipements de fabrication en salle blanche
- Paillasse de développement photo sous hotte aspirante
- Machine d’insolation de circuits à partir d'un masque
- Salle de gravure chimique de métaux
- Bâti de métallisation sous vide par canon à électrons RIBER
- Bain de dorure de boîtier circuits RF
- Fours tubulaires de recuit haute température
- Microscopes optiques
- Systèmes de mesure sous pointes DC (plateforme Karl Suss et traceur de caractéristique TEKTRONIX)
- Profilomètre DEKTAK 3ST (mesure d'épaisseur de quelques 10 Å à 130 µm)
Les équipements de conception de composants en salle grise
- Paillasse de chimie équipée de tournettes
- Fours de recuit résines
- Photoplotter permettant de réaliser des masques de circuit, générés à l'aide des outils de CAO
Les équipements spécifiques de nanotechnologie
- AFM Di-Caliber de Veeco
- STM EasyScan de Nanosurf
Quelques exemples de réalisation en salle blanche
- Transistor MESFET - Lg=2m
- Échelle de transistor et diodes Schottky
- Pinci polymère avec activation par système à mémoire de forme
- Nanolithographie sur substrat SOI
- Observation de motifs de gravure d'un CD avec le microscope AFM
