La centrale de caractérisation du CNFM de Lille accueille étudiants, enseignants et professionnels, en mettant à leur disposition des équipements HF permettant d'effectuer des mesures allant du continu jusqu'à des fréquences de 20 GHz.

 

Les outils de mesure

• 2 Analyseurs de réseaux vectoriels ®HP8720 [130MHz-20GHz], permettant la caractérisation de composants de radiofréquences et de micro-ondes
• Analyseur de spectres Hewlett Packard ®HP 8592A [50kHz-22GHz]
• 3 Générateurs ®HP8350B wobulés
• Analyseur de facteur de bruit HP8970A
• 4 Wattmètres ®HP 432A
• Analyseur de signaux modulés numériques HP89441A [2MHz-2650MHz]
• Banc de mesure sous pointes HF - Acquisition et traitement de données via le logiciel ICCAP

 

Quelques exemples de réalisation

• Système d'émission-réception à 7,1 GHz
• Caractérisation d'un filtre sélectif
• Caractérisation sous pointe d'un transistor MESFET

Le pôle permet aux utilisateurs de réaliser leurs solutions de circuits hybrides à couches minces ou épaisses, à l'aide d'un matériel dédié. Grâce à sa salle grise d'une surface de 75m², le CNFM dispose de conditions idéales à la réalisation de composants électroniques, dans un environnement stérilisé.

Les équipements de fabrication en salle blanche

• Paillasse de développement photo sous hotte aspirante
• Machine d’insolation de circuits à partir d'un masque
• Salle de gravure chimique de métaux
• Bâti de métallisation sous vide par canon à électrons RIBER
• Bain de dorure de boîtier circuits RF
• Fours tubulaires de recuit haute température
• Microscopes optiques
• Systèmes de mesure sous pointes DC (plateforme Karl Suss et traceur de caractéristique TEKTRONIX)
• Profilomètre DEKTAK 3ST (mesure d'épaisseur de quelques 10 Å à 130 µm)

 

Les équipements de conception de composants en salle grise

• Paillasse de chimie équipée de tournettes
• Fours de recuit résines
• Photoplotter permettant de réaliser des masques de circuit, générés à l'aide des outils de CAO

 

Les équipements spécifiques de nanotechnologie

• AFM Di-Caliber de Veeco
• STM EasyScan de Nanosurf

 

Quelques exemples de réalisation en salle blanche

• Transistor MESFET - Lg=2m
• Échelle de transistor et diodes Schottky
• Pinci polymère avec activation par système à mémoire de forme
• Nanolithographie sur substrat SOI
• Observation de motifs de gravure d'un CD avec le microscope AFM

Le pôle CNFM de Lille met à disposition des professeurs, étudiants et stagiaires des logiciels industriels de pointe dédiés à la simulation de fabrication, ainsi qu'à la conception de composants semi-conducteurs, de circuits intégrés, de SoC et de micro-systèmes. Les utilisateurs peuvent ainsi concevoir leurs prototypes dans des délais très courts.

Les 12 postes informatiques sont équipés des outils suivants :

• Logiciels industriels de conception et de modélisation de composants Cadence et Silvaco, ainsi que des logiciels de conception de circuits Altera et Xilinx
• ADS et HFSS, adaptés aux simulations de circuits électriques, électromagnétiques et analogiques hyperfréquences, ainsi que les logiciels de simulation CST Microwave, ICCAP et PSpice

Le pôle CNFM de Lille a aussi accès à distance au testeur HP 83000 du CNFM, localisé au pôle PCM (Montpellier).

Le Pôle CNFM de Lille s'est spécialisé dans la conception, la fabrication et la caractérisation des composants et dispositifs dans le domaine des radiofréquences et hyperfréquences et dispose de moyens uniques dans la région pour la formation en microélectronique.

• Salle de CAO équipée d'outils de conception spécifiques adaptés aux hautes fréquences (HFSS, ADS, CST, CADENCE…)
• Salle grise d'une surface de 75 m² permettant de fabriquer des circuits hybrides
• Salles blanches permettant de fabriquer des composants actifs et passifs à base de matériaux III-V. Ces salles blanches rassemblent un certain nombre d'équipements et de matériels dont le coût actuel s'élève à environ 1,2 M€.
• Salle de caractérisation HF permettant d'effectuer des mesures du continu jusqu'à des fréquences de 20 GHz.