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Henri Happy
Objectif
Mise en application des techniques de fabrication d'un microsystème (notions de couche sacrificielle, libération de structure, actionnement du dispositif…). Technique de caractérisation in-situ du dispositif.
Caractérisation sous pointes
Amplitude du mouvement d'un bras de la pince en fonction du courant
Amplitude du mouvement d'un bras de la pince en fonction de la fréquence d'actionnement
