Objectif
Mise en application des techniques de fabrication d'un microsystème (notions de couche sacrificielle, libération de structure, actionnement du dispositif…). Technique de caractérisation au MEB.
Mise en application des techniques de fabrication d'un microsystème (notions de couche sacrificielle, libération de structure, actionnement du dispositif…). Technique de caractérisation au MEB.
