Objectif
Réalisation d'un microsystème pour des applications HF. Il s'agit de la fabrication d'une membrane polyimide sur GaAs. On cherchera à sensibiliser au mieux les étudiants aux problèmes technologiques, mécaniques de ce type de dispositif.
Le TP s'effectue en deux états, respectivement de 4h (technologie de la membrane) et 2h (caractérisation).
Il consiste, dans un premier temps, à s'initier à la microtechnologie sur GaAs en réalisant cette membrane en salle blanche. Dans un deuxième temps, une caractérisation hyperfréquence de lignes coplanaires déposées sur ces membranes sera faite.
